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정보제공 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr)

헬륨이온 현미경 시스템

He Ion Microscope

DRIS No. DRIS-19-0322
시설장비등록번호 NFEC-2015-12-206672
보유기관 대구경북과학기술원
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장비정보

모델명 ORION NanoFab 제작사 Carl Zeiss
취득일자 2015-12-01 취득금액 1,485,504,780원
5대 미래산업 분류 헬스케어 활용용도 시험
표준분류 광학/전자영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
장비위치
대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 50-1 대구경북과학기술원 E10 B1 B117
장비설명 1) Cryogenically cooled source tip에 가속 전압을 걸어주면 헬륨가스가 반응하여 tip 말단 nm 영역에서 ion이 발생된다. 이를 추출하여 이온빔을 만들고 집속하여 샘플에 주사하면 샘플과 산란하게 되어 이차전자가 발생한다. 이를 검출하여 시료 표면의 나노 형상과 구조를 관찰할 수 있는 장비이다.
2) This is the latest helium ion microscope ？ focused ion beam instrument (HIM-FIB).
3) Built upon the advancement in the class-leading gas field ion source (GFIS) technology.
4) This instrument provides a sub-nanometer imaging solution.
5) Helium ion beam을 사용하여, 일반 SEM 보다 해상력이 뛰어나기 때문에 고배율에서도 깨끗한 영상을 얻을 수 있다.
6) Helium ion beam을 사용하여 electron에 의한 charge up 현상이 없어 비전도성 시료를 관찰할 수 있다. 비전도성 시료를 고분해능으로 관찰할 수 있어 시료를 전도성 물질로 코팅하지 않고 표면을 관찰할 수 있다.
7) Turbo pump를 사용하여 빠르고 깨끗한 진공을 잡을 수 있다..
구성 및 기능 1) Scanning ion microscope
(1) Gas field ion source (GFIS) and column including helium source
(2) ET secondary electron detector
(3) Electron flood gun for charge compensation
(4) 5 Axis motorized stage
(5) Computer workstation with MS Windows based software
(6) Liquid nitrogen, on-board dewar with computer controlled auto-fill

2) Gas injection system and pattering engine
(1) FIBICS NPVE for ORION NanoFab. (2) Oxford instruments single needle gas injection system (GIS2) (3) One GIS2 cartridge filled with TEOS siloxane for insulator deposition
(4) One GIS2 cartridge filled with platinum for metal deposition

3) Specifications
(1) Resolution: 0.5 nm
(2) Depth focus: 2.5 μm
(3) Field of view: 100 nm ~ 900 umm @ 8 mm working distance
(4) Beam energy 10 ~ 35 kV
(5) Stage travel: x = 50 mm,, y = 50 mm, z = 8 mm
(6) Rotation: 0 to 360°
사용/활용예 1) Nanoscale imaging of biological sample
2) Cell biology, tissue engineering, brain science
3) Research of nano material
4) Focused helium ion beam을 사용하여 sub-nanometer까지 imaging 가능하고, 0.5nm의 분해능과 electron charge up에 의한 이미지 흐르는 현상이 없기 때문에 비전도성 시료를 고 분해능으로 관찰 가능
5) 생물시료 및 nano-particle과 같은 대상을 백금이나 금과 같은 전도성 물질로 코팅하지 않고 샘플의 표면을 쉽게 관찰 가능
6) 기존 전자현미경의 한계로 인해 관찰할 수 없었던 세포, 조직, 바이러스, 박테리아 같은 대상의 실제 구조를 관찰할 수 있기 때문에 생명과학 분야에서 가장 직관적인 이미지 정보를 제공할 수 있어 관련연구의 다양한 분야에 활용 가능
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